科民電子推出新一代ALD設備-固態(tài)源ALD

發(fā)布時間:

2022/04/02

嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實驗數據表明，固態(tài)ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優(yōu)異。

科民電子推出新一代ALD設備-固態(tài)源ALD

嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實驗數據表明，固態(tài)ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優(yōu)異。